新華財(cái)經(jīng)上海3月12日電 工信部等多個(gè)部委11日下午召開(kāi)工業(yè)氣體“卡脖子”問(wèn)題協(xié)調(diào)工作會(huì)議,系統(tǒng)梳理我國(guó)工業(yè)氣體現(xiàn)狀,協(xié)調(diào)推進(jìn)解決制約行業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問(wèn)題。
作為一個(gè)工業(yè)細(xì)分行業(yè),工業(yè)氣體廣泛應(yīng)用于鋼鐵、石化等傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),以及電子半導(dǎo)體、醫(yī)療、食品等成長(zhǎng)性行業(yè)。
電子氣體最“卡”
“準(zhǔn)確的講,‘卡脖子’的是‘電子大宗氣體’和‘電子特氣’?!睂?duì)于工業(yè)氣體“卡脖子”問(wèn)題,原林德集團(tuán)中國(guó)區(qū)電子事業(yè)部業(yè)務(wù)總經(jīng)理白久在接受上證報(bào)采訪時(shí)介紹,國(guó)內(nèi)非電子氣體已經(jīng)具有一定的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力,但由于技術(shù)和設(shè)備制造能力等因素,國(guó)內(nèi)電子氣體的競(jìng)爭(zhēng)力還比較弱。
華特氣體相關(guān)人員則告訴記者,工業(yè)氣體“卡脖子”主要體現(xiàn)在大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等高端領(lǐng)域,在集成電路領(lǐng)域體現(xiàn)得尤為明顯。
公開(kāi)資料顯示,在半導(dǎo)體用電子氣體市場(chǎng)中,德國(guó)林德集團(tuán)、美國(guó)空氣化工、法國(guó)液化空氣等公司控制著全球近八成的市場(chǎng)份額,控制了我國(guó)近九成的市場(chǎng)份額,我國(guó)電子氣體行業(yè)受制于人的局面較為嚴(yán)重。
中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為什么被電子氣體“卡脖子”?
“就電子大宗氣體來(lái)說(shuō),其對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)卡在四個(gè)層面?!卑拙媒榻B說(shuō),一是外資巨頭在中國(guó)只做頭部客戶,對(duì)中國(guó)新興半導(dǎo)體項(xiàng)目支持度不足,卡了新項(xiàng)目的脖子;第二,中國(guó)本土公司在電子大宗氣體項(xiàng)目的技術(shù)方案、項(xiàng)目執(zhí)行、后續(xù)運(yùn)營(yíng)等環(huán)節(jié)都存在經(jīng)驗(yàn)不足,給動(dòng)輒投資數(shù)十億上百億的半導(dǎo)體項(xiàng)目帶來(lái)很大風(fēng)險(xiǎn);第三,從晶圓廠到存儲(chǔ)器再到第三代化合物,半導(dǎo)體家族不斷擴(kuò)容,對(duì)氣體品種需求越來(lái)越多,對(duì)氣體質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)苛,本土公司在經(jīng)驗(yàn)不足的情況下又面臨新挑戰(zhàn),難以給出有效的氣體解決方案;第四,中國(guó)亟需富有經(jīng)驗(yàn)的國(guó)際團(tuán)隊(duì)來(lái)開(kāi)拓本土電子氣體產(chǎn)業(yè),服務(wù)本土晶圓廠。
就電子特氣來(lái)說(shuō),白久認(rèn)為形勢(shì)更嚴(yán)峻?!拔辶N最重要的電子特氣中,我們實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的比例不足1/3?!卑拙梅Q,由于電子特氣具有易燃、易爆、有毒、有害等特性,電子特氣公司在自身技術(shù)水平儲(chǔ)備不足的情況下,還要受到政策法規(guī)等限制要求,往往難以實(shí)現(xiàn)特氣的量產(chǎn)化。
國(guó)產(chǎn)化市場(chǎng)空間大
電子氣體的市場(chǎng)有多大?
“電子特氣的全球市場(chǎng)規(guī)模則接近50億美元?!卑拙帽硎?,在半導(dǎo)體材料中,電子特氣是價(jià)值量占比僅次于硅片的第二大原材料,在全球半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的占比約為14%。
東莞證券的研報(bào)顯示,2017年中國(guó)的特種氣體市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)到約178億元,預(yù)期此后5年將以平均超過(guò)15%的年增長(zhǎng)率高速增長(zhǎng),到2022年中國(guó)特種氣體市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到411億元。
白久告訴記者,正是因?yàn)榭吹搅穗娮託怏w國(guó)產(chǎn)化的機(jī)會(huì)和市場(chǎng)空白,他招募外資電子氣體從業(yè)人員組建團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立宏芯氣體,期望通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和科技研發(fā),打破外資壟斷,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白,服務(wù)本土半導(dǎo)體公司。
多家上市公司有突破
隨著中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)大發(fā)展,我國(guó)的特種氣體產(chǎn)業(yè)也在逐步發(fā)展,華特氣體、金宏氣體、雅克科技等上市公司在一些特氣品種上也取得了一定的進(jìn)展。
華特氣體告訴記者,通過(guò)十幾年的研發(fā),公司在高純六氟乙烷、高純?nèi)淄?、光刻氣、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純八氟丙烷、高純一氧化氮等?0個(gè)產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代。目前,華特氣體已經(jīng)覆蓋了國(guó)內(nèi)80%的8英寸晶圓廠。
作為工業(yè)大宗氣體龍頭,金宏氣體也瞄準(zhǔn)了電子氣體,公司上市募投項(xiàng)目之一便是張家港金宏氣體有限公司超大規(guī)模集成電路用高純氣體項(xiàng)目,項(xiàng)目總投資2.1億元。目前,公司的電子特種氣體產(chǎn)品主要包括超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、硅烷混合氣、八氟環(huán)丁烷等。公司在2020年12月公告,公司自主研發(fā)的高純氧化亞氮、超純氨產(chǎn)品近日成功通過(guò)中芯國(guó)際的稽核認(rèn)證,等待測(cè)試。
雅克科技子公司成都科美特在六氟化硫與四氟化碳的生產(chǎn)工藝上具有核心技術(shù)。六氟化硫在國(guó)內(nèi)外被廣泛應(yīng)用于電力設(shè)備中的輸配電及控制設(shè)備行業(yè),四氟化碳被廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體制造、平板顯示、太陽(yáng)能薄膜等行業(yè)。